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當(dāng)前位置：首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  3 CVD  >  PlasmaPro 100 Nano等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

簡(jiǎn)要描述：PlasmaPro 100 Nano
用于生長(zhǎng)1D / 2D納米材料和異質(zhì)結(jié)構(gòu)的CVD / PECVD工具。 PlasmaPro 100 Nano通過(guò)在線催化劑活化和嚴(yán)格的工藝控制，實(shí)現(xiàn)納米材料的高性能生長(zhǎng)。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：PlasmaPro 100 Nano
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-08-12
  • 訪  問(wèn)  量： 253

詳細(xì)介紹

  • 更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍， 最高可達(dá)1200°C

  • 700°C、800°C或1200°C工作臺(tái)可供選擇

  • 樣品尺寸可達(dá)200mm

  • 真空傳送腔——快速更換樣品

  • 冷壁設(shè)計(jì)并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅(qū)體的噴頭

  • 可選的液體/固體源前驅(qū)體輸送系統(tǒng)，用于生長(zhǎng)MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料

應(yīng)用：

  • 二維材料 生長(zhǎng)

  • MoS2 生長(zhǎng)

  • 石墨烯 生長(zhǎng)

  • 一維材料 生長(zhǎng)

  • 碳納米管（CNT）生長(zhǎng)

  • 氣柜 —— 包含額外的氣體管線，提供更大的靈活性

  • 渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動(dòng)速度

  • 光學(xué)終點(diǎn)探測(cè)—— 實(shí)現(xiàn)更好工藝結(jié)果的重要工具

  • TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實(shí)現(xiàn)液位傳感




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