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當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  半導體前道工藝設備  >  7 真空互聯(lián)系統(tǒng)

  • OCTOS™自動薄膜沉積簇工具

    Kurt J. Lesker Company自動薄膜沉積簇工具 OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng),用于在多個工藝室之間進行真空傳輸。®

    更新時間:2024-09-05
    型號:OCTOS™
    廠商性質:經(jīng)銷商
    瀏覽量:348
  • customized高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)

    高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結構,采用行業(yè)優(yōu)質的軟件控制系統(tǒng);4英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±2.5%,8英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±3.5%,測定標準以Ti靶材,濺射200——500nm厚薄膜,邊緣去5mm,隨機5點取樣測定為準。

    更新時間:2024-09-05
    型號:customized
    廠商性質:經(jīng)銷商
    瀏覽量:824
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