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12英寸金屬刻蝕機

簡要描述:NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機,可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。

  • 產(chǎn)品型號:NMC 612G
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 665

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機,可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。

2. 設(shè)備用途/原理

NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機,可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕高性能靜電卡盤,可用于 Si wafer 及玻璃片穩(wěn)定吸附設(shè)備提供多種均勻性調(diào)節(jié)手段。本土化服務(wù)及定制化軟件配置能力

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12英寸,適用材料 鋁、硅、氧化物、鉬、氧化銦錫,適用工藝 鋁線、鋁墊、硅、介質(zhì)刻蝕、鋁 / 鉬 /ITO 等金屬刻蝕,適用域 新興應(yīng)用、集成電路。百科:?半導體金屬刻蝕機的原理?主要涉及到濕法刻蝕和干法刻蝕兩種技術(shù)。這兩種技術(shù)都是半導體制造工藝中非常重要的步驟,用于有選擇地從硅片表面去除不需要的材料,以達到在涂膠的硅片上正確地復制掩模圖形的目的。

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