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Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進(jìn)行的擴(kuò)展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng)，與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比，在單個 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動傳輸系統(tǒng)、12 個源端口集成到單框架設(shè)計中的現(xiàn)代電子設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)最大的實(shí)驗(yàn)室占地面積效率。

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟(jì)、最靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達(dá)三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng)，并在無人值守的情況下進(jìn)行生長和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素，無論應(yīng)用是什么。

GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎，采用Veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計，并具工藝靈活性，非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合，使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%，從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。

Laurell的WS-1000MH系列微型濕法勻膠工作臺適用于更狹小的空間和較小的預(yù)算。這個簡單的工作站被提煉出真正的濕式工作站必須具備的精髓，以實(shí)現(xiàn)最大的經(jīng)濟(jì)性。

Laurell的WS-1000系列濕法勻膠工作臺的配置和測試模塊建造和運(yùn)輸安裝時間短。易于裝載和操作，所有物品都讓操作員方便地觸及。