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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設(shè)備  >  6 清洗設(shè)備

  • PlasmaPen™大氣式等離子清潔系統(tǒng)

    PlasmaPen™ 是PVA TePla的大氣式等離子清潔系統(tǒng),可滿足各種表面處理要求,如表面清潔及表面活化。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):PlasmaPen™
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:328
  • ASx 系列清洗設(shè)備

    SUSS MicroTecs ASx 系列為加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供了優(yōu)良的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩(wěn)定性和高性能使平臺(tái)能夠滿足無(wú)損加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):ASx 系列
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:309
  • MaskTrack Pro掩膜版清洗系統(tǒng)

    掩模的完整性對(duì)高標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝的成功起主要作用。MaskTrack Pro 掩膜清洗處理系統(tǒng)滿足下一代光刻節(jié)點(diǎn)在掩模清洗、烘烤和顯影工藝方面的所有標(biāo)準(zhǔn)。它是應(yīng)對(duì) 193i 1x half-pitch DPT、極紫外光刻 (EUVL) 和納米壓印光刻 (NIL)高要求的創(chuàng)新解決方案。以創(chuàng)新技術(shù)最大限度地提高光掩模性能。 MaskTrack Pro 允許用第三方的產(chǎn)品擴(kuò)展工具集群,并提供一個(gè)全面的方法

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):MaskTrack Pro
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:416
  • TWB-200晶片清洗機(jī)

    本機(jī)是一款全自動(dòng)晶片刷洗機(jī),全程封閉環(huán)境采用機(jī)械手自動(dòng)操作,具備刷洗甩干功能,適用于各種半導(dǎo)體襯底材料拋光后的刷洗,可有效減少晶片表面顆粒污染。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):TWB-200
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:340
  • TSC-100/300S/200LCMP后清洗機(jī)

    該系列設(shè)備是晶圓CMP后的專用清洗設(shè)備,有單工位、轉(zhuǎn)位式、連線式等不同結(jié)構(gòu),以適用不同應(yīng)用場(chǎng)景,其中連線式設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面積小,濕進(jìn)干出,適用于各類CMP后晶圓的清洗。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):TSC-100/300S/200L
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:318
  • TSC-150C/200CCMP后清洗機(jī)

    該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備,采用連線式結(jié)構(gòu),設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面積小,濕進(jìn)干出,適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。

    更新時(shí)間:2024-09-06
    型號(hào):TSC-150C/200C
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:303
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